横山研究室top -> 研究室の装置紹介 -> オスミウム・プラズマ・コーター

基本的にはスパッタ蒸着装置と同じく、プラズマを発生させて金属をイオン化し、試料表面に堆積させて金属被膜を作成する装置です。本装置の特徴は、蒸着源として常温で気体になる酸化オスミウム(注1)を用いているため、極めて低いエネルギーで蒸着できる点にあります。その結果、(1) アモルファス金属膜のため極めてなめらかに試料表面を覆うことができる、(2) 試料への熱的なダメージが少ない、などのメリットがあります。見た目はやや半透明ですが、意外に導電性は十分にあります。

注１：オスミウムは、ベリリウムやタリウムなどと並んで有毒金属の代表であり、使用時には外にガスが漏れないような工夫が凝らされています。蒸着の元となる酸化オスミウムは、アンプルで提供されます。