化合物の溶液から薄膜を作成するための装置です。 これは、真空蒸着装置では分解してしまい、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの製膜に適しています。まず中央に見える白い部分に基板となる材料(ガラスや金属)をセットします。そして、ポリマーや化合物などを溶媒に溶かしたものを、その上に注ぎます。スイッチを入れると中央部分は回転を始め、溶液が振り落とされ薄い液膜になります。このとき溶媒も揮発をすることによって、基板には非常に薄い膜が形成されます。ただし、溶媒に溶ける材料でないと使えません。 |
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ポリマー溶液とスピンコーターにより作成した薄膜 |
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左側のようなポリマー溶液をこの装置によってガラス基板上に製膜すると右側のように薄膜が できあがります。膜の厚みは、回転数や溶液の濃度によってコントロールすることができます。 |